CDM integreret tykkelses- og arealdensitetsmåler

Applikationer

Belægningsproces: online detektion af små træk ved elektroden; almindelige små træk ved elektroden: ferieudslæt (ingen lækage fra strømaftager, lille grå forskel i forhold til normalt belægningsområde, fejl i CCD-identifikation), ridse, tykkelseskontur af udtyndingsområde, AT9 tykkelsesdetektion osv.

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produktmærker

Principper for måling

Principper for måling af overfladedensitet

Røntgen-β-absorptionsmetode

Principper for tykkelsesmåling

Korrelation og lasertriangulering

Tekniske testkarakteristika for CDM

Scenarie 1: Der er en 2 mm bred ferie/mangel på elektrodeoverfladen, og den ene kant er tykkere (blå linje som vist nedenfor). Når strålepletten er 40 mm, ser effekten af den målte oprindelige dataform (orange linje som vist nedenfor) tydeligvis mindre ud.

Scenarie 2: Profildata for dynamisk udtyndingsområde 0,1 mm databredde

Softwarefunktioner

Tekniske parametre

Navn	Indekser
Scanningshastighed	0-18 m/min
Samplingfrekvens	Overfladedensitet: 200 kHz; tykkelse: 50 kHz
Måling af overfladedensitet	Overfladedensitet: 10~1000 g/m²; tykkelse: 0~3000 μm;
Målingens gentagelse nøjagtighed	Overfladedensitet: 16s integral: ±2σ: ≤±sand værdi * 0,2‰ eller ±0,06 g/m²; ±3σ:≤±sand værdi * 0,25‰ eller +0,08 g/m²; 4s-integral: ±2σ: ≤±sand værdi * 0,4‰ eller ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±sand værdi * 0,6‰ eller ±0,18 g/m²;Tykkelse: 10 mm zone: ±3σ: ≤ ±0,3 μm; 1 mm zone: ±3σ: ≤±0,5 μm; 0,1 mm zone: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korrelation R2	Overfladedensitet >99%; tykkelse >98%;
Laserpunkt	25*1400μm
Strålingsbeskyttelsesklasse	GB 18871-2002 national sikkerhedsstandard (strålingsfritagelse)
Levetid for radioaktive kilde	β-stråler: 10,7 år (Kr85 halveringstid); røntgenstråler: > 5 år
Målingens responstid	Overfladedensitet < 1 ms; tykkelse < 0,1 ms;
Samlet effekt	<3 kW